Podloga:B270 /N-BK7 / H-K9L
Tolerancija dimenzija:-0,1 mm
Tolerancija debljine:±0,05 mm
Ravnost površine:3(1)@632.8nm
Kvaliteta površine:20/10
Širina linije:Minimalno 0,003 mm
Rubovi:Uzemljenje, 0,3 mm max. Kosina pune širine
Čisti otvor blende:90%
Paralelizam:<30”
Premazivanje:Jednoslojni MgF2, Ravg<1,5%@Valna duljina dizajna
Linija/točka/figura: Cr ili Cr2O3