Podloga:UV stopljeni silicij
Tolerancija dimenzija:-0,1 mm
Tolerancija debljine:±0,05 mm
Ravnost površine:1(0,5)@632,8nm
Kvaliteta površine:40/20
Rubovi:Uzemljenje, 0,3 mm max. Kosina pune širine
Čisti otvor blende:90%
Centriranje:<1'
Premazivanje:Rabs<0,25%@Valna duljina dizajna
Prag oštećenja:532nm: 10J/cm², 10ns puls
1064nm: 10J/cm², 10ns puls